让济南造“一飞冲天”！翼菲科技用机器人探寻轻工业提效密码
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济南翼菲智能取得晶圆传输系统专利，能对洁净度要求不同的晶圆进行传输
金融界2025年5月12日消息，国家知识产权局信息显示，济南翼菲智能科技股份有限公司取得一项名为“一种晶圆传输系统”的专利，授权公告号 CN222851409U，申请日期为 2024 年 7 月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆传输系统，其晶圆装载机构设置在机台框架的容纳空间内，晶圆装载机构至少兼容第一装载机构和第二装载机构，第一装载机构和第二装载机构分别与第一晶圆和第二晶圆适配；在需要传输第一晶圆时，该晶圆传输系统对应安装第一装载机构，当需要传输第二晶圆时，该晶圆传输系统对应安装第二装载机构，以使该传输系统能够对洁净度要求不同的第一晶圆与第二晶圆进行传输。晶圆传输机构具有行走轴机构和机械臂，机械臂能够将晶圆置于晶圆装载机构或从晶圆装载机构将晶圆取出；通风过滤机构设置在机台框架上，用于对进入机台框架的容纳空间内的空气过滤并将容纳空间内的空气排出，以提高容纳空间的洁净度，进而保证晶圆的洁净度。
天眼查资料显示，济南翼菲智能科技股份有限公司，成立于2012年，位于济南市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本5350万人民币。通过天眼查大数据分析，济南翼菲智能科技股份有限公司共对外投资了11家企业，参与招投标项目46次，财产线索方面有商标信息29条，专利信息274条，此外企业还拥有行政许可20个。
本文源自金融界
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